1. Einführung von Cu / Low-k Interconnects, 2.Copper Deposition,,, 3.Diffusion Barrieren für Cu, 4.Reliability Issues in Cu-Metallisierung

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1.Pinciple von CVD-, 2.Metal-CVD, 3.PE-CVD, 4.HDP-CVD, 5.LP-CVD, 6.UHV-CVD

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(1) FMEA ??????? P? I? A? ׸ ѪR (2)?]? PFMEA?? Ich? K (3)? Y? (FMEA?? Ich? K

1.Einleitung, 2.Ultra dünnen Oixde Vorbereitung, 3.Intrinsic Eigenschaften von Thermal Oxide und Charakterisierung, 4.Oxide Zuverlässigkeit, 5.Limits der Oxide Skalierung, 6.High-k-Dielektrikum Tech