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1.Einleitung, 2.Ultra dünnen Oixde Vorbereitung, 3.Intrinsic Eigenschaften von Thermal Oxide und Charakterisierung, 4.Oxide Zuverlässigkeit, 5.Limits der Oxide Skalierung, 6.High-k-Dielektrikum Tech

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1.Einleitung, 2.Lithographic-Systeme und Beleuchtung, 3.Resist Technology, 4.Modeling & Simulationen, 5.Resolution Enhancement Technology, 6.Critical Fragen und Lösungen, 7.Imaging die Zukunft

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