1. Motif de matériaux low-k,, 2. Sortes de matériaux low-k,, 3. Mécanisme de matériaux low-k,, 4. Étude sur SiO2 poreux (Sol-gel),, 5. L`intégration entre les low-k et Cu, 6. Con usion

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1.Conductor Systems En métallisation,, 2.Silicidation,, 3.Diffusion Barrier,, 4.Ai interconnexion,, 5.Cu interconnexion,, 6.Summary

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Détartrage 1.MOSFET,,, 2. MOSFET caractéristiques I-V,,, 3. Les effe à court canal et la conce ion tension de seuil

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