1.Conductor Systems in Metallisierung, 2.Silicidation, 3.Diffusion Barrier, 4.Ai Interconnection, 5.Cu Interconnection, 6.Summary

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1.MOSFET Skalierung,,, 2. MOSFET I-V Eigenschaften,,, 3. Short-Channel-Effekte und Schwellenspannung Design

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